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微電子生產用超純水設備

2019-04-18 16:01

  一、微電子生產用超純水設備概述

  微電子技術是高科技和信息產業的技術,是在電子電路和系統超小型和微型化逐漸形成的。而微電子行業的生產加工離不開超純水的使用,微電子生產用超純水設備針對這一行業用水需求,采用反滲透和EDI相結合的制水工藝,有效去除水中的導電離子,電阻率可以達到18兆歐以上。


超純水設備
超純水設備
 

  二、微電子生產用超純水設備工藝流程

  1、采用離子交換方式,其流程如下:自來水→電動閥→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→中間水箱→低壓泵→精密過濾器→陽樹脂床→陰樹脂床→陰陽樹脂混合床→微孔過濾器→用水點

  2、采用兩級反滲透方式,其流程如下:自來水→電動閥→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→中間水箱→低壓泵→精密過濾器→一級反滲透主機→PH調節→混合器→二級反滲透主機(反滲透膜表面帶正電荷)→純水箱→純水泵→微孔過濾器→用水點

  3、采用高效反滲透加EDI方式,其流程如下(新工藝性價比高):自來水→電動閥→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→中間水箱→低壓泵→PH值調節系統→高效混合器→精密過濾器→高效反滲透→中間水箱→EDI水泵→EDI系統→微孔過濾器→用水點
 

  三、微電子生產用超純水設備三種工藝比較

  制備電子工業超純水的工藝基本上是以上三種,其余的工藝流程大都是在以上三種基本工藝流程的基礎上進行不同組合搭配衍生而來?,F將他們的優缺點分別列于下面:

  第一種采用傳統的離子交換樹脂其優點在于初次投資少,占用的地方少,但缺點就是需要經常進行離子再生,耗費大量酸堿,而且對環境有一定的破壞。

  第二種采用反滲透+離子交換設備,其特點為初次投資比采用離子交換樹脂方式要稍高,但離子再生周期相對要長,耗費的酸堿比單純采用離子樹脂的方式要少很多。是比較經濟與流行的一種工藝。

  第三種采用反滲透作預處理再配上電去離子裝置,這是目前制取超純水先進,環保的的工藝,不需要用酸堿進行再生便可連續制取超純水,對環境沒什么破壞性。其缺點在于初次投資相對以上兩種方式過于昂貴。


微電子生產用超純水設備
微電子生產用超純水設備
 

  四、微電子生產用超純水設備應用領域

  1、半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路成品、半成品用超純水。

  2、超純材料和超純化學試劑勾兌用超純水。

  3、實驗室和中試車間用超純水。

  4、汽車、家電表面拋光處理。

  5、光電子產品。

  6、其他高科技精微產品。

  以上是微電子生產用超純水設備的簡單介紹。萊特萊德北京水處理設備公司是一家集專業研發、設計、制造、安裝、調試、售后服務為一體的超純水設備公司。我們以先進的技術、品質、優惠的價格、快捷的服務和良好的信譽,期待著與您攜手合作,共創潔凈廣闊的生活空間。

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